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氧元素是由英國化學家約瑟夫·普利斯特里與瑞典藥劑師及化學家舍勒于1774年分別發現。但是普利斯特里卻支持燃素學說。 [3] 另有說法認為氧氣首先由中國人馬和首先發現。

1777年，法國化學家拉瓦錫提出燃燒的氧化學說，指出物質只能在含氧的空氣中進行燃燒，燃燒物重量的增加與空氣中失去的氧相等，從而了全部的燃素說，并正式確立質量守恒定律。從嚴格意義上講，發現氧元素的為瑞典化學家舍勒，而確定氧元素化學性質的為法國化學家拉瓦錫。 [3]
在1608年，Cornelius Drebbel證明了加熱硝石（硝酸鉀，KNO?）能釋放氣體。這就是氧氣，然而并沒有對它進行鑒定。

因發現氧而獲得的榮譽由3位化學家分享：一個英國人，一個瑞典人，還有一個法國人。約瑟夫·普里斯特利是位發布氧元素聲明的人，在1774年由聚焦陽光到（HgO），然后收集釋放出的氣體實現。他注意到蠟燭在這里燃燒的更明亮了，而且能使呼吸變得更簡單。普里斯特利不知道的是，卡爾·威爾海姆·舍勒（Carl Wilhelm Scheele）在1771年6月就制取了氧。他寫下了他的發現說明，但直到1777年才發布。拉瓦錫也聲稱發現了氧，并且他提議這種新的氣體叫做oxy-gène，意思是形成酸的，因為他認為這種元素是所有酸性物質的基礎。

膜分離技術
膜分離技術得到迅速發展。利用這種技術，在一定壓力下，讓空氣通過具有富集氧氣功能的薄膜，可得到含氧量較高的富氧空氣。利用這種膜進行多級分離，可以得到百分之九十以上氧氣的富氧空氣。

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